一、設備簡介：

　　1、音圈電機驅(qū)動，實現(xiàn)6自由度振動控制;

　　2、自主設計高精度傳感器實現(xiàn)自動調(diào)平以及實時;

　　3、自主設計高精度傳感器實現(xiàn)自動調(diào)平以及實動狀態(tài)實時監(jiān)測;

　　4、無明顯共振放大現(xiàn)象，主動隔振起始頻率低至1Hz起，10Hz時即可實現(xiàn)95%以上的隔振效率;

　　6、多種工作臺面尺寸及安轉(zhuǎn)孔可選，滿足不同設備尺寸需求。

　　二、應用領(lǐng)域：

　　1、桌面式SEM;2、共焦顯微鏡;3、原子力顯微鏡;4、高精度工具; 5、掃描探針顯微鏡;6、其他光學及電子設備

　　三、性能參數(shù)：