說(shuō)明:120二軸對(duì)位平臺(tái)是一款高精度電動(dòng)平臺(tái),具備X、Y軸各50mm行程,重復(fù)定位精度2μm,適用于晶圓對(duì)位、光學(xué)調(diào)節(jié)、精密裝配等場(chǎng)景。平臺(tái)采用鋁合金結(jié)構(gòu),表面黑色陽(yáng)極氧化處理,兼具穩(wěn)固性與耐用性,適應(yīng)多種科研與工業(yè)環(huán)境。
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120二軸對(duì)位平臺(tái)是一款高精度電動(dòng)平臺(tái),具備X、Y軸各50mm行程,重復(fù)定位精度≤±2μm,適用于晶圓對(duì)位、光學(xué)調(diào)節(jié)、精密裝配等場(chǎng)景。平臺(tái)采用鋁合金結(jié)構(gòu),表面黑色陽(yáng)極氧化處理,兼具穩(wěn)固性與耐用性,適應(yīng)多種科研與工業(yè)環(huán)境。
核心傳動(dòng)部分選用米思米精密滾珠絲桿與交叉滾子導(dǎo)軌,雙軸配備信濃步進(jìn)電機(jī),運(yùn)行平穩(wěn)、定位精準(zhǔn)。120×120mm臺(tái)面提供良好
的承載與集成空間,是高精度二維位移控制的理想選擇。
技術(shù)參數(shù):
X軸50mm,Y軸50mm
重復(fù)定位精度≤±2um
臺(tái)面尺寸120*120/mm
主體材料及表面處理:鋁合金,黑色陽(yáng)極氧化
絲桿品牌:米思米精密滾珠絲桿
導(dǎo)軌品牌:米思米交叉滾子導(dǎo)軌
電機(jī)品牌:信濃
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